Описание:

"Qulee" - это новейшая модель для анализа остаточных газов и мониторинга газового потока в процессе производства. Отзывы инженеров различных производственных линий учтены в дизайне нового продукта, обеспечивающего максимальную простоту.

Qulee обеспечивает высокую точность и разрешение даже при высоком давлении (1 Па или менее).

Особенности:

• Идеально подходит для контроля процесса различных систем распыления

• Контроля утечки воздуха

• Контроля остаточной влажности

• Не требуется дифференциальная система откачки (менее 1 Па при 7,5 х 10-3 Торр/1 х 10-2 мбар)

• Встроенный дисплей: без ПК

• Возможен высокочувствительный тест на герметичность (CGM2-052). Дополнительные тесты на герметичность.

• Доступны различные тесты на герметичность (тест на утечку гелия, тест на утечку воздуха, тест на сборку)

• Возможно измерение общего давления (ионизационный манометр)

• Включает систему пакетов быстрой установки (QIP). Пакет автоматического измерения (подробности смотрите в каталоге опций)

• Qulee QCS входит в комплект поставки: Это программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows 8/10/11)

• Соответствует требованиям CE

 

Применение:

• Мониторинг процесса для фотоэлектрических, FPD и полупроводниковых систем

• Анализ остаточных газов в системе PVD

• Контроль примесей (H2O и т.д.) в системе PVD

• Для проверки на герметичность

Технические характеристики:

 

Модель	CGM2-051	CGM2-052
Массовый тип фильтра	Квадруполь
Диапазон масс	От 1 до 50 а.е.м.
Разрешение	M/ΔM=1M (10% P.H.)
Тип детектора	Цилиндр Фарадея (FC)	Электромагнитная трубка (SEM) / Цилиндр Фарадея (FC)
Чувствительность	0,1мкА/Па	SEM: 0,1мА/Па
	13,3 мкА/Торр	SEM: 13,3 мА/Торр
	10 мкА/мбар	SEM: 10 мА/мбар
Минимальное определяемое парциальное давление	1×10-7 Па	SEM: 1×10-10 Па
	7,5×10-10 Торр	SEM: 7,5×10-13 Торр
	1×10-9 мбар	SEM: 1×10-12 мбар
Максимальное рабочее давление	FC: 2 Па	FC: 2 па, SEM: 1×10-2 Па
	FC: 1,5×10-2 Торр	FC: 1,5×10-2 Торр SEM: 7,5×10-5
	FC: 2×10-2 мбар	FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 мбар
Линейность	1Па
	7,5×10-3 Торр
	1×10-2 мбар
Функция общего давления	Способный
Функция дегазации	Электронная бомбардировка типа 300В, 5м6
Функция одним нажатием кнопки	He/H2O/N2/O2/любой газ
Функция проверки герметичности одним нажатием кнопки	Возможна
Потребляемая мощность	24 В постоянного тока ±10% 50 Вт
Максимальная рабочая температура датчика	120℃ (248℉)
Максимальная рабочая температура датчика	250℃ (482℉)
Диапазон рабочих температур	От 10 до 40℃ (от 50 до 104F)
Диапазон рабочей влажности	от 15 до 80 % (без конденсации)
Коммуникационный интерфейс	Локальная сеть
Программное обеспечение	Qulee QCS версии 4.2 и более поздней (Windows 8/10/11)
Применимый стандарт	CE